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經(jīng)營:電(diàn)氣(qì)裝備用電纜_高溫(wēn)高壓熱電偶(ǒu)_防腐(fǔ)熱電(diàn)阻(zǔ)_防爆熱(rè)電阻(zǔ)
敏(mǐn)感(gǎn)元(yuán)件是能夠(gòu)靈敏地感受被測變量並作(zuò)出(chū)響(xiǎng)應的(dí)元(yuán)件。如:彈性膜(mó)盒能感受壓(yā)力的(dí)高(gāo)低而引起形(xíng)變,形變(biàn)的程(chéng)度就是對(duì)壓力(lì)高低的(dí)響應,因此,彈性膜盒是一種壓力敏感元件(jiàn)。
傳(chuán)感器(qì)不(bù)但(dàn)應該對被(bèi)測(cè)量敏感,而且具(jù)有把它(tā)對(duì)被(bèi)測量的(dí)響應傳送出(chū)去的功(gōng)能(néng)。也(yě)就(jiù)是說(shuō),傳感器(qì)不隻是一般的(dí)敏感(gǎn)元件(jiàn),它(tā)的輸出(chū)響應(yīng)還必須是易(yì)於傳送(sòng)的(dí)物(wù)理(lǐ)量。例如:上訴的彈(dàn)性(xìng)膜盒的輸(shū)出(chū)響應是(shì)形(xíng)變,是(shì)微(wēi)小(xiǎo)的(dí)幾何量,不便於向遠(yuǎn)方傳(chuán)送。如(rú)果(guǒ)把膜(mó)盒中心的位移轉(zhuǎn)變為電容(róng)極(jí)板的(dí)間(jiān)隙(xì)變化(huà),就(jiù)成為(wéi)輸(shū)出響應(yīng)是電容(róng)量(liáng)的壓力(lì)傳(chuán)感(gǎn)器。
由(yóu)於(yú)電信號zui便(biàn)於傳送(sòng),所(suǒ)以絕(jué)大(dà)多數(shù)傳(chuán)感器(qì)的(dí)輸出是電量的(dí)形式(shì),如電(diàn)壓(yā),電(diàn)流,電(diàn)阻,電感(gǎn),電容,頻率等。
變送器是從傳(chuán)感(gǎn)器(qì)發(fā)展而(ér)來的,凡能輸出(chū)標準(zhǔn)信號(hào)的(dí)傳(chuán)感器(qì)就(jiù)稱為變送(sòng)器。(標準(zhǔn)信號是物(wù)理量(liáng)的(dí)形式(shì)和數值範(fàn)圍都(dū)符合(hé)標(biāo)準(zhǔn)的(dí)信號(hào)。例如直流(liú)4~20mA)有了統(tǒng)一的(dí)信號形式(shì)和數(shù)值(zhí)範圍,就便於(yú)把各種變(biàn)送器(qì)和其他儀表組(zǔ)成(chéng)檢(jiǎn)測(cè)係(xì)統或(huò)調節係(xì)統。
輸出為非標準(zhǔn)信(xìn)號的(dí)傳感(gǎn)器,必須和(hé)特定的(dí)儀表或(huò)裝置配(pèi)套,才能(néng)實(shí)現檢測(cè)或調節功能。為了加(jiā)強通用(yòng)性和靈活(huó)性,某(mǒu)些傳(chuán)感(gǎn)器(qì)的(dí)輸(shū)出可(kě)以(yǐ)靠轉(zhuǎn)換器把非標準(zhǔn)信號轉換成標準(zhǔn)信(xìn)號(hào),使之(zhī)與帶有(yǒu)標準(zhǔn)信號的(dí)輸入(rù)電(diàn)路(lù)或接(jiē)口的(dí)儀(yí)表(biǎo)配套。不(bù)同(tóng)的標(biāo)準信號也可借(jiè)助(zhù)於(yú)轉(zhuǎn)換(huàn)器互相轉換(huàn)。例如利(lì)用(yòng)氣/電轉(zhuǎn)換器,能把20~100 kPa的空氣壓(yā)力(lì)轉換成(chéng)0~10mA的直流(liú)電(diàn)流(liú)。
位式(shì)作(zuò)用和(hé)連(lián)續(xù)作(zuò)用:
位(wèi)式作(zuò)用,也稱(chēng)為開(kāi)關作用,即(jí)傳(chuán)感(gǎn)器在(zài)輸入(rù)變量整(zhěng)個變化範(fàn)圍內(nèi)其輸出相應隻(zhī)有(yǒu)兩(liǎng)種狀態,例如空氣狀(zhuàng)態(tài)的(dí)“高(gāo)”和“低(dī)”。
位式(shì)作用的(dí)傳感(gǎn)器多用(yòng)於(yú)被測(cè)變(biàn)量(liáng)的超限(xiàn)報警(jǐng),連(lián)鎖保護(hù),順(shùn)序(xù)控製。例如(rú)我們的壓力(lì)開關。
需(xū)要連續(xù)檢測(cè)或(huò)調(tiáo)節某些(xiē)變量(liáng)時,就必須用連續作(zuò)用的(dí)傳(chuán)感器(qì)或(huò)變送器。
長野的變(biàn)送器中(zhōng)所(suǒ)使(shǐ)用(yòng)的傳(chuán)感(gǎn)器SS—蒸(zhēng)發(fā)型半導(dǎo)體應變片(piàn)的特點(diǎn):
(1)相(xiāng)對於粘貼(tiē)式(shì)和(hé)擴散式,蒸發式(shì)為(wéi)新技(jì)術。
(2)其(qí)可測(cè)壓力範圍(wéi) -0.1~0.3MPa;0~200MPa 。
(3)具有(yǒu)很(hěn)好耐(nài)用性和(hé)穩定性。
半導(dǎo)體應(yīng)變(biàn)片(piàn)的製(zhì)作(zuò)方法:粘(nián)貼(tiē)方式(shì),蒸發方(fāng)式,擴散方(fāng)式。
長野(yě)的(dí)變送器(qì),如KM31,KM10 等,其半導體(tǐ)應(yīng)變片(piàn)部分,感(gǎn)應(yīng)元件(jiàn)(不鏽(xiù)鋼隔膜(mó))以及壓力接(jiē)口部分通(tōng)過(guò)焊(hàn)接連接成(chéng)一體(tǐ),具有很高的(dí)穩定(dìng)性和(hé)可靠(kào)性(xìng),抗震性(xìng)和(hé)抗(kàng)衝擊性(xìng)良好。
蒸發(fā)式半導體應(yīng)變片(piàn)的具體(tǐ)製作(zuò)方(fāng)式(shì)如下:
(1)在不(bù)鏽鋼(gāng)隔(gé)膜上(shàng)使用(yòng)CVD等離(lí)子沉澱一層SiO2絕(jué)緣膜(mó)
(2)在SiO2絕緣膜(mó)上再沉澱一(yī)層多晶(jīng)矽(guī)。
(3)在多(duō)晶矽上(shàng)使(shǐ)用激光蝕(shí)刻(kè),應變(biàn)片(piàn)成型 。
(4)用(yòng)電子(zǐ)束照射蒸(zhēng)鍍,配上金製(zhì)電(diàn)極。
(5)再(zài)使(shǐ)用(yòng)CVD等離子沉澱一(yī)層SiNx保護膜(mó)。
根據(jù)傳(chuán)感(gǎn)器(qì)或變送(sòng)器的安裝場所有無(wú)易(yì)燃(rán)易爆氣(qì)體及危險程(chéng)度,選(xuǎn)擇(zé)隔(gé)爆(bào)型(xíng)及本安(ān)型(xíng)。
(1)隔爆型(xíng)在(zài)內(nèi)部(bù)電(diàn)路和(hé)周(zhōu)圍(wéi)易燃氣(qì)體之間(jiān)采取了(liǎo)隔離(lí)措施,允(yǔn)許使用(yòng)在(zài)有一定危險(xiǎn)性的(dí)環境裏(lǐ) 。
(2)本安型(xíng)即(jí)本質安全型的簡稱(chēng),依靠(kào)特(tè)殊設計(jì)的電(diàn)路保證(zhèng)在正常工作(zuò)及(jí)故障(意外短路或(huò)斷(duàn)路)狀態(tài)下(xià)都不(bù)會(huì)引(yǐn)起燃(rán)爆事(shì)故(gù),可(kě)用(yòng)在十(shí)分易(yì)燃易(yì)爆(bào)的(dí)場所。
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